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对于清洗玻璃基板时,主要清洗分别以微粒子污染、有机物、金属物去微粒子的SEAL,与有关尼龙毛刷加以说明。
1)随着玻璃基板之大型化,以刷辊清洗方式进行时,接触面增大时磨擦力也随之增加的情况下,运送时出现有不安定及洗净效果不均等情况。
2)按此问题计算,刷毛之直径从本来的0.07mm改为0.05mm。增加植毛密度(3倍)后刷毛。
接着力增加时,刷毛直径0.07玻璃基板表面之摩擦力比例引对地增加。当刷毛直径0.05mm时所产生之摩擦力一定会比前者少。
在玻璃基板运送时之影响也有一定之改善。
而毛刷直径0.07mm的洗净性能与毛刷之滚动数有相对关系,0.05mm毛刷是以较阔范围的滚动,使它有洗净的安全性。这个也与植毛之密度高的效果下有直接关系。