德国TRIOPTICS GmbH 设计研发的AspheroCheck UP全自动非球面偏心仪用于高精度的测量非球面的偏心和倾斜。AspheroCheck UP基于OptiCentric®检测技术进行非球面的偏心测量。配合非接触式传感器进行非球面倾斜的测量,是非球面偏心倾斜Z理想的测量工具。
技术指标:
AspheroCheck UP | |
偏心测量精度 | 0.1 µm |
倾斜测量精度 | Z高0.05 arcmin(取决于样品) |
测量时间 | < 1 min |
镜头旋转 | 高精度气浮轴承 |
样品直径 | 0.5 mm … 100 mm |
Z大样品重量 | 5 kg |
测量头 | 电子自准直仪,200 mm 有效焦距 |
光源 | 高性能 LED |