上海伯东德国普发Pfeiffer磁悬浮涡轮分子泵 HiPace 300-800M，ATH 500 M：抽速范围在300-800l/s的紧凑型磁悬浮涡轮分子泵。HiPace M和ATH 500 M拥有5轴磁轴承。动平衡装置会进行自动校准，Pfeiffer磁悬浮涡轮分子泵可以Z小程度上减轻震动和工艺过程中产生的轴承位移。低能耗和极低的维护成本确保了其极高的性价比。
Pfeiffer 磁悬浮涡轮分子泵 HiPace 300-800M，ATH 500 M产品优点：
1.磁悬浮涡轮分子泵任意角度安装
2.集成控制器
3.清洁无油
4.高气体流量
5.低震动及低磁场干扰
6.磁悬浮涡轮分子泵动平衡自动补偿
7.转速范围大
Pfeiffer 磁悬浮涡轮分子泵 HiPace 300-800M，ATH 500 M技术参数：
|
分子泵型号 |
分子泵连接尺寸 DN |
抽速 l/s |
压缩比 |
Z高启动压强hPa |
极限压力 |
全转速气体流量hPa l/s |
启动时间 |
重量 |
|||
|
进气口 |
排气口 |
氮气 |
氦气He |
氢气 H2 |
氮气 |
氮气N2 |
hPa |
氮气N2 |
min |
kg |
|
|
HiPace® 300 M |
100 |
16 |
255 |
215 |
170 |
> 1X1011 |
20 |
< 1X10–7 |
28 |
2 |
13.1 – 17.2 |
|
ATH 500 M ATH 500 MT |
160 |
25 |
550 |
390 |
190 |
> 2X107 |
2.6 |
< 1X10–8 |
67 |
2 |
17 – 18 |
|
HiPace® 700 M |
160 |
25 |
685 |
600 |
480 |
> 1X101 |
8 |
< 1X10–7 |
13 |
4 |
15.7 – 20.8 |
|
HiPace® 800 M |
200 |
25 |
790 |
625 |
500 |
> 1X101 |
8 |
< 1X10–7 |
13 |
4 |
17.1 – 21.5 |
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