μ Phase高精度干涉仪用于测量高精度要求的光学零件，材料包括玻璃、塑料、金属、陶瓷等，被国家计量院，以及各大天文、光电研究所应用于精密光学检测，测量精度及稳定性已得到研究机构的广泛肯定。
应用范围：
可用于测量平面和球面光学零件
可完成各种类型的反射和透射检测
可采用透射法检测双胶合透镜
曲率半径测量
非球面、柱面、轮胎面等面型的测量
大型平面的检测
光学材料的均匀性检
理想的成盘抛光分块镜面型检测
典型应用
μPhase® SPHERO UP， μPhase® PLANO UP，μPhase® Plano Down
l 用于测量不同的平面和球面光学零件
l 操作直观而简单，适合非专业人士操作
l 测量范围：
μPhase® Plano Down：平面φ≤2 mm 至 150 mm
μPhase® PLANO UP：平面φ≤2 mm 至 100 mm
μPhase® SPHERO UP：球面，曲率半径（凸面）2mm—225mm，直径Z大55mm
球面，曲率半径（凹面）-3mm—-570mm
l 结构紧凑，占用空间下，可灵活的与产线结合
μPhase® Vertical
l 适用于厂房、车间、实验室的标准干涉仪检测系统
l 立式检测，结构紧凑，占地面积小
l 标配一个沿Z轴方向电动平移的平台，可选配第二个平台
l 倾斜及X/Y平移精调
l 可完成各种类型的反射与透射检测
l 可采用透射法检测双胶合透镜
l 凹面与凸面球面镜的检测范围：标准曲率半径范围：1mm-225mm，直径Z大55mm（采用50mm物镜μLens PLANO 50）
l 集成半径测量单元
l 可选CGH，用于测量非球面、柱面、轮胎面等
l Z轴方向设置导轨电机，电动升降
l 曲率半径实现一键式自动测量
μPhase® UNIVERSAL 100
l 用于测量平面和球面的4英寸干涉检测系统
l 球面测量范围：凹面曲率半径Z大-3000mm（提供相应导轨）
l 平面测量范围：Z大98mm
l 半径测量系统集成导轨和光栅尺
l 适合长焦光学零件和系统的检测
l 与市场上通用的4英寸标准球面物镜相兼容
l 可选旋转对称非球面的检测配件，检测范围10mm-80mm，CGH检测轮胎面、柱面等
μPhase® Plano 300
l 理想的大型平面的检测系统，光学材料的均匀性检测系统
l 理想的成盘抛光分块镜面形检测系统
l 测量范围60-300mm
l 立式检测系统，其它检测方式根据要求可订制
l 具有重型光学元件的支承、调整等操作功能。
技术规格：
测量原理 | 泰曼格林型相移式干涉仪，可转成菲索型 |
测量能力 | 光学反射面的面形、光学零件或系统的透过波前 |
激光波长 | 标配632.8nm，335nm-1064nm间波长可选 |
PV重复精度 | λ/400（λ=632.8nm） |
RMS重复精度 | λ/6500（λ=632.8nm） |
测量不确定度 | λ/20（λ=632.8nm） |
相机分辨率 | μPhase® 500：500×500像素 μPhase® 1000：1000×1000像素 |
数字化位 | 8位 |
激光器类型 | 稳频氦氖激光器 |
激光器防护等级 | 3A |
