专业RF600电源维修,PFG 2500 RF电源维修
抢修热线:020-86489454 13138602540 冯生
公司网站:
应用对象包括:刻蚀、RIE、PECVD、ICP、射频溅射、CVD和PVD等系统,也可作为工厂业系统中感应加热和电介质加热设备的电源
单频射频电源、双频射频电源、直流电源、ESC静电卡盘电源、自动调谐匹配网络。
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高技杰电气维修德国 SINGULUS 溅镀电源、美国 MKS/ENI 溅镀电源、ADVANCED ENERGY 美国 AE 溅镀电源、RF 射频电源、DC 直流电源、AC 交流电源。更专业的技术,更迅速的响应高速增长的等离子体薄膜制造工艺之尖端电源的维修。
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高技杰电气同时为各地区的半导体、数据存储、光电子、真空镀膜、真空溅镀、研究所等行业提供专家级射频电源维修保养。为ENI/AE DC POWER & RF GENERATOR 提供维修维护服务。
维修特色:24小时接修服务,快速反应测试,维修企业化运作,给客户提供持续的保障;免费检查、先核维修价,经用户认可再进行维修;备件充足、交货迅速,所有产品都上电带负载试验;速度快、价格优、质量保证、可提供上门服务。
保修时间:客户试机正常后算起对修复的部位及相同故障进行3个月的保修;
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