德国普发 Pfeiffer 分子泵 Hipace 1000-2000 l/s 产品优点：
1. 四种抽速，抽速为自1,000 至 2,000 l/s
2. 对于分子量较小气体以及分子量较大气体的高抽速
3. 适用各种工艺如刻蚀, 溅镀, 要求，耐粉尘
4. 高气流量，即使对于分子量较大的气体
5. 集成的 TC 1200 驱动单元，可直接连接一般电源
6. 支援腐蚀气体
7. 带节气阀门的集成密封气体系统
8. 标准介面介面：RS-485 以及远端控制；Profibus 或者 DeviceNet 可供选择
9. 符合 IP 54 防护标准，适用于工业应用环境
10. 符合 Semi S2 规范
11. 符合 UL, CSA 以及 TÜV 认证
分子泵 Hipace 1000-2000 l/s 适用领域：
1. 半导体生产 2. 真空炉 3. 质谱分析 4. 研发及化工行业 5. 玻璃及刀具镀膜
分子泵 Hipace 1000-2000 l/s 产品规格：
|
型号 |
连接尺寸 DN |
抽速 l/s |
压缩比 |
Z高启动压强mbar |
冷却 |
启动 |
重量 |
|||
|
进气口 |
出气口 |
氮气N2 |
氦气He |
氢气 H2 |
氮气 N2 |
氮气N2 |
min |
kg |
||
|
HiPaceTM 1200 |
200 |
40 |
1,250 |
1,300 |
1,100 |
>108 |
2 |
水冷 |
2.5 |
40 |
|
HiPaceTM 1500 |
250 |
40 |
1,450 |
1,350 |
1,150 |
>108 |
2 |
水冷 |
2.5 |
41 |
|
HiPaceTM 1800 |
200 |
40 |
1,450 |
1,650 |
1,700 |
>108 |
1.8 |
水冷 |
4 |
34 |
