Veeco K465 K465i E300外延设备滤芯
产品说明：
该产品系我司针对Veeco K465i设备设计生产的滤芯，安装于真空泵前，用于滤除混合气体中的粉尘和颗粒；
2只/组（粗滤、细滤）
组成材料：
1、滤材： 耐高温玻纤滤料
2、支撑材料：双面304#不锈钢金属网
3、骨架：304#不锈钢菱形网
4、密封垫圈：硅发泡橡胶垫片
5、密封胶：硅橡胶
规格：
1、端盖：φ360、304#不锈钢
2、耐高温密封垫：φ340*φ265*T5
3、折数：一级（100μm）:120折, 折高65mm;二级（25μm）:90折，折高65mm
过滤效率：
1、粗滤：100μm=90%
2、细滤：25μm=99.95%
3、透气量：1000L/Sec/㎡
产品特性：
1、采用两级过滤工艺，分级过滤杂质、有效去除不同大小的颗粒杂质。
2、波纹工艺，有效过滤面积增加，容污能力强，使用周期长。
3、滤料采用玻纤滤料，具耐高温、耐腐蚀，长期使用温度可达250度以上。
4、专用的高精度过滤材料，空隙均匀，过滤精度高，有效保护设备。
