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金刚石线切硅片工艺与传统工艺相比具有的优势
金刚石线和传统的 “钢线+磨浆”的线锯切割技术相比,切割速度是“钢线+磨浆“的2~5倍。在切割
相同材料时,前者所需要的磨粒线只有后者的10%。表面粗糙度降低了近1倍;其表面粗糙度为
Ra=0.7~0.8μm;而且表面无明显的切削条纹;自从改用乳化水冷却后,生产相同数量产品的废
水量减少到以往的1/50,符合国家“节能减排”的倡导。
两种切割线的加工效果对比
对比项目
钢线+磨浆 钻石线锯 钻石线锯加工效果 切割速度 100 200~500 可提高切割速度2~5倍 用线量 100 10 用线量下降到1/10 冷却液 非乳化液 乳化液 可改善作业环境 表面粗糙度Ra 1.3~1.4μm 0.7~0.8μm 表面粗糙度降低了近1倍 工场环境 差 好 同上 废水量 100 2 废水量减少到1/50

