WaveMaster波前测量仪是应用于球面及非球面光学系统波前实时测量和分析的仪器,具有高空间分辨率和高精度的特征,整合了目前先进的波前传感技术。
应用范围:
各种球面及非球面镜片光学波前面和镜片或镜头的表面面型的检测
实验室内大口径精密镜头或镜片的波前检测
产线大批量镜头波前和表面面型的检测
晶圆级镜头的波前检测
技术指标:
微透镜阵列138×138
波前测量精度优于<λ/20(RMS)
波前测量动态范围:2000λ
表面面型测量精度<0.050μm(RMS)
表面面型动态范围>200μm
Z大非球面度<7度
测量波长(可定制)
数值孔径(可定制)
被测样品直径(可定制)
被测样品焦距(可定制)