Tahoma">目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业等级，分别为18M Tahoma">Ω.cm mso-ascii-font-family:Tahoma;mso-hansi-font-family:Tahoma">、15M Tahoma;mso-hansi-font-family:Tahoma">Ω.cm Tahoma">、10M mso-ascii-font-family:Tahoma;mso-hansi-font-family:Tahoma">Ω.cm Tahoma;mso-hansi-font-family:Tahoma">、2M Tahoma">Ω.cm mso-ascii-font-family:Tahoma;mso-hansi-font-family:Tahoma">、0.5M Tahoma;mso-hansi-font-family:Tahoma">Ω.cm Tahoma">，以区分不同水质。半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的纯水、高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高，线宽越窄，对水质的要求也越高。 mso-ascii-font-family:Tahoma;mso-hansi-font-family:Tahoma">电子行业超纯水发展的历史进程：
Tahoma">DY阶段：预处理过滤器——>阳床——> Tahoma;mso-hansi-font-family:Tahoma">阴床——> Tahoma">混合床 Tahoma">第二阶段：预处理过滤器——>反渗透——> Tahoma;mso-hansi-font-family:Tahoma">混合床 Tahoma">目前阶段：预处理过滤器——>反渗透——>EDI( mso-ascii-font-family:Tahoma;mso-hansi-font-family:Tahoma">无需酸碱) mso-ascii-font-family:Tahoma;mso-hansi-font-family:Tahoma">电子行业超纯水的3 Tahoma;mso-hansi-font-family:Tahoma">种工艺：
1 Tahoma">、采用离子交换树脂制备电子工业超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→阳床→阴床→混床( Tahoma;mso-hansi-font-family:Tahoma">复床) Tahoma">→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点
2 Tahoma">、采用 Tahoma">反渗透水处理设备 Tahoma">与离子交换设备进行组合制备电子工业超纯水的方式，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→混床( Tahoma;mso-hansi-font-family:Tahoma">复床) Tahoma">→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点
3 Tahoma">、采用反渗透设备与电去离子(EDI) Tahoma">设备进行搭配制备电子工业超纯水的的方式，这是一种制取超纯水的Z新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→电去离子(EDI) Tahoma;mso-hansi-font-family:Tahoma">→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点
mso-ascii-font-family:Tahoma;mso-hansi-font-family:Tahoma">电子行业超纯水设备 Tahoma">特点
Tahoma">电子工业超纯水设备通常由多介质过滤器，活性碳过滤器，钠离子软化器、精密过滤器等构成预处理系统、RO Tahoma">反渗透主机系统、离子交换混床(EDI Tahoma">电除盐系统) mso-ascii-font-family:Tahoma;mso-hansi-font-family:Tahoma">系统等构成主要设备系统。原水箱、中间水箱、RO Tahoma;mso-hansi-font-family:Tahoma">纯水水箱、超纯水水箱均设有液位控制系统、高低压水泵均设有高低压压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC Tahoma;mso-hansi-font-family:Tahoma">可编程控制器，真正做到了无人值守，同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法，使该设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和设备可靠性。
Tahoma">电子行业超纯水的应用领域
1 Tahoma">、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路成品、半成品用超纯水;
2 Tahoma">、超纯材料和超纯化学试剂勾兑用超纯水;
3 Tahoma">、实验室和中试车间用超纯水;
4 Tahoma">、汽车、家电表面抛光处理;
5 Tahoma">、光电子产品;
6 Tahoma">、其他高科技精微产品
