随着制造业的发展，超纯水（UPW）厂的颗粒监测及控制系统象超纯水的清洁过滤系统一样要求越来越关键。对于一些先进的精密电子制造工业，如平板液晶显示器（FPD）、硬盘驱动器(HDD)的元件等，这些行业都要求对于用于生产加工过程中液体的污染颗粒的监控能达到0.1µm. Ultrapure-100提供给超纯水 0.1µm颗粒监控一个完全集成在一起的解决办法，无论是检测、监控、或对超纯水系统的品质验证及简单的监控关键工位，你会发现Ultrapure-100是一个高效的却成本低廉仪器，是在线分析的好帮手。 Ultrapure-100包括充沛的光电系统、计数和通讯电路、一个独特的流速控制系统，所有的都集成在一起能满足各种应用。例如在DI water制造厂内监控，整个系统的流速超过of 1.0 L/min，这样结果就有非常快的清洗，恢复时间及精确的流速，甚至于动态的入口压力. Ultrapure-100是一个近似于完美的系统，特别易于安装或集成到现在系统中。如FMS（facility monitoring system ）或 BMS（building management system）。也可以选择作为一个独立的测试仪器，还有许多可用的兼容配套软件。 Ultrapure-100提供一个以 windows为基础的安装程序使仪器的安装或集成很快而且非常容易的。一些参数，如通道数、取样时间间隔、4-20mA模拟信号输出比例都能被迅速的制作到指定的对话框中。即时的对话框确保数据的正确完整不打折扣。仪器的校正完全的按照NIST的校准，数据可追根溯源。颗粒计数测试是TOC（Total Organic Carbon）测试中不可少的一部分。Anatel TOC分析仪器是半导体、平板显示器中TOC监控的工业标准。Anatel TOC分析也是标准成分分析的一部分，能够定制到任何的水分析系统中。现在随着颗粒计数仪器的补充，Anatel能够采取仪器更进一步的确保高纯水处理网络更高效率和收益
特点：
0.1和0.2μm的标准颗粒尺寸，可在0.1和5.0μm范围内定制极好的流量控制和动态的入口压力调节具备极快的清洁和恢复时间高流速保证了快速的清洗时间优秀的流量调节，一体化设计保证了低维护量激光能量诊断，颗粒计数软件和完全的可追溯NIST标准4-20mA输出
应用：
电子半导体制造超纯水系统颗粒计数检测
性能：
测量粒径尺寸（μm）：0.1,0.2 系统流速>1L/min 样品流速 10ml/min, 样品压力设置30-100psig 光源采用激光二极管
